About.
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薄膜中心研究生團隊成員
中心研究團隊本中心團隊成員由本校專任教師共同組成,研究人力則由相關計畫聘任之博、碩士專任研究助理與博、碩士班研究生擔任兼任研究助理。參與本中心的專任教師,短程計畫為跨院系的組合,包含資電學院電機系及自動控制系、工科院材料系及光電系之教授群。在執行中、長程計劃時,將尋求跨校之合作或以結盟方式擴大研究領域,此舉不但可以成為整合校內各學院專長教師之平台,讓研發能量與產業服務達到加值效果;更可以促成一個具有特色的研發中心,提供ㄧ穩定的研發平台,進而將研究成果行銷推廣的產官學研合作環境。
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專任教師研究團隊
光電系-莊智皓助理教授
研發團隊
博士班研究生 : 蘇淑惠 、張之楷、莫東翰、蔣峻宇、張元銘
碩士班研究生 : 蔡翔勛、胡毓翔、李彥誼、王奕霖、黃翌宸、郭光祐、張俊鴻
碩士班研究生 : 蔡翔勛、胡毓翔、李彥誼、王奕霖、黃翌宸、郭光祐、張俊鴻
研發能量
1.薄膜製程設備-本中心設有一套雙電子鎗結合離子源輔助(IAD)蒸鍍系統、兩套單電子鎗結合離子源輔助蒸鍍系統、一套電漿輔助反應磁控濺鍍系統、一套直流反應磁控濺鍍系統及一套射頻磁控濺鍍系統,可製造光學薄膜濾光片、各式光學薄膜元件及薄膜型光纖感測器。
2.量測儀器-各式量測設備包括:高倍光學顯微鏡、薄膜厚度量測儀、四點探針電阻儀、UV-VIS/NIR 光譜儀、微型光譜儀、FTIR光譜儀、拉曼光譜儀、光學傳遞函數量測系統及光譜式橢圓偏振儀。
3.薄膜量測系統研製-本中心自行研發各式薄膜殘留應力量測儀、簡式橢圓偏振儀、顯微干涉儀、表面粗糙度量測儀、晶圓表面瑕疵量測儀、大面積表面輪廓儀及自動化光學量測(AOI)系統
4.光學薄膜元件研製-各式光學濾光片、裝飾性鍍膜、透明導電薄膜
中紅外干涉濾光片
低通濾光片
紅光陷波濾光片及眼鏡片
藍光陷波濾光片及眼鏡片
窄帶濾光片
裝飾性鍍膜
12吋晶圓鍍多層膜
5.損模共振型(LMR)鍍膜光纖感測器
研究成果
期刊論文:
[1] Refractive index and salinity sensors by gallium-doped zinc oxide thin film coated on side-polished fibers (2021-04)
Optica Appicata (SCI), Chuen-Lin Tien*, Hao-Sheng Mao, Tzu-Chi Mao,
[2] Evaluation of electrical resistivity, residual stress and surface roughness of sputtering indium tin oxide films with different thicknesses (2021-04), Optica Applicata (SCI), Chuen-Lin Tien*, Tsai-Wei Lin
[3] Internal Stress Prediction and Measurement of Mid-Infrared Multilayer Thin Films (2021-02), Materials (SCI), Chuen-Lin Tien*, Kuan-Po Chen, Hong-Yi Lin
[4] Out-of-plane thermal expansion coefficient and biaxial Young’s modulus of DC magnetron sputtered indium tin oxide thin films (2021-01)
Coatings (SCI), Chuen-Lin Tien*, Tsai-Wei Lin
[5] Accurate prediction of multilayered residual stress in fabricating mid-infrared long-wave pass filter with interfacial stress measurements (2020-11), Optics Express (SCI), Chuen-Lin Tien*, Hong-Yi Lin
[6] Surface roughness and residual stress evolution in SiNx/SiO2 multilayer coatings deposited by reactive pulsed magnetron sputtering (2020-06), Optica Applicata (SCI), Chuen-Lin Tien*, Po-Wei Lee, Shih-Chin Lin, Hong-Yi Lin,
[7] Lossy Mode Resonance Sensors Fabricated by RF Magnetron Sputtering GZO Thin Film and D-shaped Fibers (2020-01), Coatings (SCI), Chuen-Lin Tien, Tzu-Chi Mao and Chi-Yuan Li
[8]Electrically Controlled Diffraction Grating in Azo Dye-Doped Liquid Crystals (2019-06), Polymers (SCI), Chuen-Lin Tien, Rong-Ji Lin, Chi-Chung Kang, Bing-Yau Huang, Chie-Tong Kuo, and Shuan-Yu Huang
專利:
[發明]System for measuring residual stress in optical films
[發明]光纖耦合器之耦合效率檢測裝置及其方法
[發明]平行度檢測裝置及其方法
[發明]同時檢測三維輪廓及表面粗糙度的裝置及方法
[發明]不均勻光場之自動光學檢測比對方法及其系統
[發明]薄膜殘留應力之量測方法
[發明]Method for measuring a thermal expansion coefficient of a thin film by using phase shifting interferometry
[發明]使用干涉相移法量測薄膜熱膨脹係數的方法
[新型]光學薄膜殘留應力的測量系統
[新型]測量光學玻璃折射率及色散係數之裝置
[新型]光學薄膜殘留應力之測量裝置
[新型]具紅外線測距及姿態檢測之光學檢測裝置
[新型]具旋轉雙光楔之農產品篩選裝置
[新型]以腦波控制之雙人拔河競賽裝置
研究計畫案
科技部計畫:
110-多層膜陷波濾光鏡片設計、製作及對於人眼視覺品質之評估
109-(個別型)產學合作計畫-光學影像式可調焦準直檢測系統開發
109-(廠配)台偉精密科技股份有限公司(個別型)產學合作計畫-光學影像式可調焦準直檢測系統開發
109-大型鍍膜基板表面輪廓及薄膜殘留應力量測系統研製
108-(應用型)產學合作計畫-新型薄膜應力量測系統設計與開發
108-(廠配)龍翩真空科技股份有限公司(應用型)產學合作計畫-新型薄膜應力量測系統設計與開發
108-以側磨光纖結合鍍膜技術製作土壤濕度感測器
產學合作計畫:
110-110年教育部補助大學產業創新研發計畫: 光學薄膜與量測技術創新應用(3/3)
110-不同製程之濾光鍍膜鏡片對於動暈症及閱讀困擾改善方案(菁華青創企業有限公司)
110-智能化生產及製程精密檢測技術計畫 (金屬工業研究發展中心)
110-晶片製程與模組鍍膜開發 (工業技術研究院)
110-精密光學及機械零組件製造技術加值創新
110-個別型產學合作計畫-大面積精密拋光面軸向曲率檢測系統設計與研製 (科技部)
109-光學薄膜與量測技術創新應用II
109-「濾光鏡片鍍膜設計對於人眼視覺品質之評估」計畫
109-智慧機械之關鍵零組件生產技術整合與提升
109-LED元件鍍膜
108-智慧型人工光機眼用於輔助視覺系統與眼球組織檢測之開發
108-光學薄膜與量測技術創新應用I
[1] Refractive index and salinity sensors by gallium-doped zinc oxide thin film coated on side-polished fibers (2021-04)
Optica Appicata (SCI), Chuen-Lin Tien*, Hao-Sheng Mao, Tzu-Chi Mao,
[2] Evaluation of electrical resistivity, residual stress and surface roughness of sputtering indium tin oxide films with different thicknesses (2021-04), Optica Applicata (SCI), Chuen-Lin Tien*, Tsai-Wei Lin
[3] Internal Stress Prediction and Measurement of Mid-Infrared Multilayer Thin Films (2021-02), Materials (SCI), Chuen-Lin Tien*, Kuan-Po Chen, Hong-Yi Lin
[4] Out-of-plane thermal expansion coefficient and biaxial Young’s modulus of DC magnetron sputtered indium tin oxide thin films (2021-01)
Coatings (SCI), Chuen-Lin Tien*, Tsai-Wei Lin
[5] Accurate prediction of multilayered residual stress in fabricating mid-infrared long-wave pass filter with interfacial stress measurements (2020-11), Optics Express (SCI), Chuen-Lin Tien*, Hong-Yi Lin
[6] Surface roughness and residual stress evolution in SiNx/SiO2 multilayer coatings deposited by reactive pulsed magnetron sputtering (2020-06), Optica Applicata (SCI), Chuen-Lin Tien*, Po-Wei Lee, Shih-Chin Lin, Hong-Yi Lin,
[7] Lossy Mode Resonance Sensors Fabricated by RF Magnetron Sputtering GZO Thin Film and D-shaped Fibers (2020-01), Coatings (SCI), Chuen-Lin Tien, Tzu-Chi Mao and Chi-Yuan Li
[8]Electrically Controlled Diffraction Grating in Azo Dye-Doped Liquid Crystals (2019-06), Polymers (SCI), Chuen-Lin Tien, Rong-Ji Lin, Chi-Chung Kang, Bing-Yau Huang, Chie-Tong Kuo, and Shuan-Yu Huang
專利:
[發明]System for measuring residual stress in optical films
[發明]光纖耦合器之耦合效率檢測裝置及其方法
[發明]平行度檢測裝置及其方法
[發明]同時檢測三維輪廓及表面粗糙度的裝置及方法
[發明]不均勻光場之自動光學檢測比對方法及其系統
[發明]薄膜殘留應力之量測方法
[發明]Method for measuring a thermal expansion coefficient of a thin film by using phase shifting interferometry
[發明]使用干涉相移法量測薄膜熱膨脹係數的方法
[新型]光學薄膜殘留應力的測量系統
[新型]測量光學玻璃折射率及色散係數之裝置
[新型]光學薄膜殘留應力之測量裝置
[新型]具紅外線測距及姿態檢測之光學檢測裝置
[新型]具旋轉雙光楔之農產品篩選裝置
[新型]以腦波控制之雙人拔河競賽裝置
研究計畫案
科技部計畫:
110-多層膜陷波濾光鏡片設計、製作及對於人眼視覺品質之評估
109-(個別型)產學合作計畫-光學影像式可調焦準直檢測系統開發
109-(廠配)台偉精密科技股份有限公司(個別型)產學合作計畫-光學影像式可調焦準直檢測系統開發
109-大型鍍膜基板表面輪廓及薄膜殘留應力量測系統研製
108-(應用型)產學合作計畫-新型薄膜應力量測系統設計與開發
108-(廠配)龍翩真空科技股份有限公司(應用型)產學合作計畫-新型薄膜應力量測系統設計與開發
108-以側磨光纖結合鍍膜技術製作土壤濕度感測器
產學合作計畫:
110-110年教育部補助大學產業創新研發計畫: 光學薄膜與量測技術創新應用(3/3)
110-不同製程之濾光鍍膜鏡片對於動暈症及閱讀困擾改善方案(菁華青創企業有限公司)
110-智能化生產及製程精密檢測技術計畫 (金屬工業研究發展中心)
110-晶片製程與模組鍍膜開發 (工業技術研究院)
110-精密光學及機械零組件製造技術加值創新
110-個別型產學合作計畫-大面積精密拋光面軸向曲率檢測系統設計與研製 (科技部)
109-光學薄膜與量測技術創新應用II
109-「濾光鏡片鍍膜設計對於人眼視覺品質之評估」計畫
109-智慧機械之關鍵零組件生產技術整合與提升
109-LED元件鍍膜
108-智慧型人工光機眼用於輔助視覺系統與眼球組織檢測之開發
108-光學薄膜與量測技術創新應用I
合作企業
Location
台中市西屯區文華路100號 (逢甲大學-學思樓)
TEL:04-24517250 #5324 or #3809
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