薄膜暨量測技術發展中心

About.

設置宗旨及具體目標

光電薄膜與光學量測是光電科技的關鍵科技，而光電科技是高科技產業重要的支柱，高科技產業不僅對台灣，對全球產業的未來發展，都有重大的影響力。近年來有鑑於高科技產業脈動之急遽變化，因此光電薄膜科技相關人才需求殷切。同時逢甲大學臨近中部科學園區，許多新興高科技產業正擴大進駐中部科學園區，進駐廠商大都屬高科技產業，例如：光電及積體電路、精密機械、生物科技等。本校也臨近台中工業區以及潭子加工出口區，前者為臺灣中部的一個大型工業區，南鄰台中市精密機械科技創新園區，已逐漸從傳統製造業轉向高科技產業邁進。而後者則是台灣最早引進光學產業的特殊產業經濟區域，無論是光學鏡頭開發及製造能力、金屬元件機械加工、光學塑膠成形等，具有光學產品完整的垂直整合之製程能力。過去我國科技產業以代工為主，多數仰賴先進國家技術轉移，自主創新技術比例偏低，此對長期經濟發展影響深遠，故亟需建立自主性產業技術，來解決此難題。為因應此一趨勢，逢甲大學產學合作處薄膜暨量測技術發展中心(以下簡稱本中心)之成立，其宗旨乃在於配合國家經濟發展及促進產業升級，結合先進薄膜製程開發、建立精密量測技術、加強專業人才培訓、促進建教合作，並配合本校重點研究領域發展等目標，積極爭取國家重點計畫補助、學研機構合作研究，並促進產學研技術交流。2015年12月16日大立光電股份有限公司無償捐贈本校三台日本SHOWA公司製造之高真空電子束蒸鍍系統，鍍膜實驗室建置於學思樓一樓並用於教學、公民營計畫、業界人力培訓及招生等方面。此外，為整合本校專任教師之研究能量，組成次世代光學多層膜元件開發研究團隊，該團隊具光學薄膜設計、材料製程、量測技術之完整研發能力，且結合本設備，足以為業界提供光學多層膜元件之光學設計、材料設計、製程設計、試量產及薄膜特性檢測等服務。同時可與本校各中心合作，共組聯合研究團隊積極爭取整合型研究計畫，進而使本中心成為中部地區薄膜暨量測技術研發重鎮。

先進光學鍍膜實驗室揭牌儀式

龍翩真空科技股份有限公司來訪照片

大陸吉林大學來訪照片

廠商來訪照片

保勝光學股份有限公司參訪照片

群創光電股份有限公司來訪照片

2019.03.08 保勝光學股份有限公司會談

台灣真空學會-真空及光學鍍膜訓練班課程

2019.12.20 保勝光學股份有限公司會談

本中心與台偉精密科技股份有限公司產學合作

光學鍍膜相關課程實作

非破壞性、非接觸式薄膜殘留應力檢測

薄膜表面顯微影像量測

鍍膜傘架安裝

光路調校測試

薄膜應力檢測教學

薄膜中心研究生團隊成員

中心研究團隊

本中心團隊成員由本校專任教師共同組成，研究人力則由相關計畫聘任之博、碩士專任研究助理與博、碩士班研究生擔任兼任研究助理。參與本中心的專任教師，短程計畫為跨院系的組合，包含資電學院電機系及自動控制系、工科院材料系及光電系之教授群。在執行中、長程計劃時，將尋求跨校之合作或以結盟方式擴大研究領域，此舉不但可以成為整合校內各學院專長教師之平台，讓研發能量與產業服務達到加值效果;更可以促成一個具有特色的研發中心，提供ㄧ穩定的研發平台，進而將研究成果行銷推廣的產官學研合作環境。

專任教師研究團隊

電機系-田春林特聘教授
薄膜暨量測技術發展中心 - 主任
辦公室電話:04-24517250#3809

自控系-林宸生榮譽特聘教授

材料系-張育誠教授

光電系-馬仕信副教授

材料系-林巧奇副教授

自控系-陳志成助理教授

光電系-李正中特約講座教授

材料系-何主亮特聘教授

光電系-盧聖華教授

電機系-李企桓副教授

材料系-簡儀欣助理教授

自控系-謝男凱助理教授

光電系-艾嘉猷特約講座教授

材料系-邱國峰特聘教授

光電系-唐謙仁副教授

國貿系-劉翁世昆副教授

材料系-邱聖貴助理教授

研發團隊

專任研究助理：賴錦煌
博士後研究員 : 林泓逸
博士班研究生 : 蘇淑惠、張之楷、毛子奇、蔣峻宇
碩士班研究生 : 莊明翔、黃學庸、呂旻彥

研發能量

1.薄膜製程設備-本中心設有一套雙電子鎗結合離子源輔助(IAD)蒸鍍系統、兩套單電子鎗結合離子源輔助蒸鍍系統、一套電漿輔助反應磁控濺鍍系統、一套直流反應磁控濺鍍系統及一套射頻磁控濺鍍系統，可製造光學薄膜濾光片、各式光學薄膜元件及薄膜型光纖感測器。

雙電子鎗結合IAD蒸鍍系統

單電子鎗結合IAD蒸鍍系統

射頻磁控濺鍍系統

直流反應磁控濺鍍系統

電漿輔助反應磁控濺鍍系統

2.量測儀器-各式量測設備包括：高倍光學顯微鏡、薄膜厚度量測儀、四點探針電阻儀、UV-VIS/NIR 光譜儀、微型光譜儀、FTIR光譜儀、拉曼光譜儀、光學傳遞函數量測系統及光譜式橢圓偏振儀。

Leica DMLS光學顯微鏡

FS-1000高倍影像顯微鏡

KLA Tencor α-step 500表面輪廓儀

薄膜表面電阻儀

SHIMADZU UV-2600i紫外/可見光光譜儀

拉曼光譜儀(Labguide 100)

Nicolet iS5 FTIR光譜儀

Ocean Optics NIR-512 紅外線微型光譜儀

Ocean Optics USB 4000 微型光譜儀

Chrom Tech CT-2200光譜儀

光學傳遞函數(MTF)量測儀

光譜式橢圓偏振儀

3.薄膜量測系統研製-本中心自行研發各式薄膜殘留應力量測儀、簡式橢圓偏振儀、顯微干涉儀、表面粗糙度量測儀、晶圓表面瑕疵量測儀、大面積表面輪廓儀及自動化光學量測(AOI)系統

Twyman-Green干涉儀檢測薄膜應力

Mach-Zehnder干涉儀檢測薄膜應力

薄膜熱應力量測儀

Fizeau干涉儀檢測薄膜應力

混合型干涉儀檢測薄膜應力

白光麥克森干涉儀

Linnik顯微干涉儀檢測薄膜粗糙度

簡式橢圓偏振儀

12吋晶圓表面輪廓量測儀

晶圓表面瑕疵量測儀

4.光學薄膜元件研製-各式光學濾光片、裝飾性鍍膜、透明導電薄膜

中紅外干涉濾光片

低通濾光片

紅光陷波濾光片及眼鏡片

藍光陷波濾光片及眼鏡片

480抗畏光鏡片

620抗畏光鏡片

雙波段抗畏光鏡片

窄帶濾光片

裝飾性鍍膜

12吋晶圓鍍多層膜

5.損模共振型(LMR)鍍膜光纖感測器

研究成果

期刊論文：
[1] Refractive index and salinity sensors by gallium-doped zinc oxide thin film coated on side-polished fibers (2021-04)
Optica Appicata (SCI), Chuen-Lin Tien*, Hao-Sheng Mao, Tzu-Chi Mao,
[2] Evaluation of electrical resistivity, residual stress and surface roughness of sputtering indium tin oxide films with different thicknesses (2021-04), Optica Applicata (SCI), Chuen-Lin Tien*, Tsai-Wei Lin
[3] Internal Stress Prediction and Measurement of Mid-Infrared Multilayer Thin Films (2021-02), Materials (SCI), Chuen-Lin Tien*, Kuan-Po Chen, Hong-Yi Lin
[4] Out-of-plane thermal expansion coefficient and biaxial Young’s modulus of DC magnetron sputtered indium tin oxide thin films (2021-01)
Coatings (SCI), Chuen-Lin Tien*, Tsai-Wei Lin
[5] Accurate prediction of multilayered residual stress in fabricating mid-infrared long-wave pass filter with interfacial stress measurements (2020-11), Optics Express (SCI), Chuen-Lin Tien*, Hong-Yi Lin
[6] Surface roughness and residual stress evolution in SiNx/SiO2 multilayer coatings deposited by reactive pulsed magnetron sputtering (2020-06), Optica Applicata (SCI), Chuen-Lin Tien*, Po-Wei Lee, Shih-Chin Lin, Hong-Yi Lin,
[7] Lossy Mode Resonance Sensors Fabricated by RF Magnetron Sputtering GZO Thin Film and D-shaped Fibers (2020-01), Coatings (SCI), Chuen-Lin Tien, Tzu-Chi Mao and Chi-Yuan Li
[8]Electrically Controlled Diffraction Grating in Azo Dye-Doped Liquid Crystals (2019-06), Polymers (SCI), Chuen-Lin Tien, Rong-Ji Lin, Chi-Chung Kang, Bing-Yau Huang, Chie-Tong Kuo, and Shuan-Yu Huang

專利：
[發明]System for measuring residual stress in optical films
[發明]光纖耦合器之耦合效率檢測裝置及其方法
[發明]平行度檢測裝置及其方法
[發明]同時檢測三維輪廓及表面粗糙度的裝置及方法
[發明]不均勻光場之自動光學檢測比對方法及其系統
[發明]薄膜殘留應力之量測方法
[發明]Method for measuring a thermal expansion coefficient of a thin film by using phase shifting interferometry
[發明]使用干涉相移法量測薄膜熱膨脹係數的方法
[新型]光學薄膜殘留應力的測量系統
[新型]測量光學玻璃折射率及色散係數之裝置
[新型]光學薄膜殘留應力之測量裝置
[新型]具紅外線測距及姿態檢測之光學檢測裝置
[新型]具旋轉雙光楔之農產品篩選裝置
[新型]以腦波控制之雙人拔河競賽裝置

研究計畫案
科技部計畫：
110－多層膜陷波濾光鏡片設計、製作及對於人眼視覺品質之評估
109－(個別型)產學合作計畫－光學影像式可調焦準直檢測系統開發
109－(廠配)台偉精密科技股份有限公司(個別型)產學合作計畫－光學影像式可調焦準直檢測系統開發
109－大型鍍膜基板表面輪廓及薄膜殘留應力量測系統研製
108－(應用型)產學合作計畫－新型薄膜應力量測系統設計與開發
108－(廠配)龍翩真空科技股份有限公司(應用型)產學合作計畫－新型薄膜應力量測系統設計與開發
108－以側磨光纖結合鍍膜技術製作土壤濕度感測器

產學合作計畫：
110－110年教育部補助大學產業創新研發計畫: 光學薄膜與量測技術創新應用(3/3)
110－不同製程之濾光鍍膜鏡片對於動暈症及閱讀困擾改善方案(菁華青創企業有限公司)
110－智能化生產及製程精密檢測技術計畫 (金屬工業研究發展中心)
110－晶片製程與模組鍍膜開發 (工業技術研究院)
110－精密光學及機械零組件製造技術加值創新
110－個別型產學合作計畫－大面積精密拋光面軸向曲率檢測系統設計與研製 (科技部)
109－光學薄膜與量測技術創新應用II
109－「濾光鏡片鍍膜設計對於人眼視覺品質之評估」計畫
109－智慧機械之關鍵零組件生產技術整合與提升
109－LED元件鍍膜
108－智慧型人工光機眼用於輔助視覺系統與眼球組織檢測之開發
108－光學薄膜與量測技術創新應用I

合作企業